氟橡胶，光刻胶回流法和电感耦合等离子体干蚀刻法结合是通过交联、氧化和蚀刻三个主要功能产生的。 Fz14表面接枝丙烯酸+丙烯酰胺在不同二次气体处理条件下的接枝改性表明只需要较短的二次气体。处理时间可以对F214的表面接枝改性产生积极影响。 F314浸泡后，材料表面吸附单体分子。材料再次置于等离子体环境
